SEMICONDUCTOR EQUIPMENT

ESC척분리기(디본딩기)

반도체 ESC 척을 분리하는 장비입니다. ESC 척 리페어(수리·재생) 공정에서 접합된 세라믹 플레이트와 베이스를 분리하는 데 사용합니다.

ESC 척 구조 및 분리 대상

아래 이미지는 ESC 척의 세라믹 플레이트, 접합층(Silicone Bond), 알루미늄 바디(Al Body) 등 주요 구성품을 보여줍니다. 적용 가능한 척과 분리 조건, 장비 구성은 별도 상담해 주세요.